PHYTRON VSS 42.200.1,2-GPL-HV-KTC-4Lp-1.5 高真空步进电机完整介绍
一、品牌概述
德国 PHYTRON(飞创),全球特种真空 / 低温 / 抗辐射步进电机原厂,VSS 系列为高真空 HV 标准两相混合步进电机,整机德国制造,适配镀膜、质谱、冷冻探针台、半导体腔体等超高真空精密定位场景Phytron GmbH。
二、完整型号分段释义 VSS 42.200.1,2-GPL-HV-KTC-4Lp-1.5
VSS:标准高真空两相步进电机系列
42:42mm 方形法兰(NEMA17 紧凑尺寸)
200:标准 1.8° 步距,每转 200 整步
1,2:额定相电流 1.2A,4 线并联绕组
GPL:集成 VGPL 真空专用低背隙行星减速头,整机真空适配润滑
HV:High Vacuum 高真空等级,极限真空 10⁻¹¹ hPa,出厂 200℃高温烘烤除气,低析出航天级材料
KTC:内置 K 型热电偶,实时监测电机内部温度,实现真空腔体过热联锁保护
4Lp:4 芯并联动力出线,适配两相高压步进驱动器
1.5:配套 1.5 米真空低挥发专用屏蔽线缆
三、核心电气机械基础参数
本体步进性能
相数:两相混合式
步距角:1.8°,步距精度 ±5%,支持高细分微步
额定相电流:1.2A
适配驱动电压:70VDC 高压驱动
保持扭矩:120mNm
整机重量:0.35kg,机身长度 54mm
转动惯量:0.045kg・cm²
轴向轴承载荷 20N,径向 40N
真空与温区性能
极限真空:10⁻¹¹ hPa
耐受烘烤温度:最高 200℃除气,长期工作腔体≤160℃
工作温度区间:-196℃液氮低温~+85℃
出气率<10⁻¹² Pa・m³/s,不污染光学镀膜、半导体腔体
抗辐射标准:10⁶ J/kg,适配航天、高能物理设备
减速单元 GPL一体化真空行星减速机,专用无挥发真空润滑脂,极小背隙,微米级重复定位精度,适配狭小腔体减速驱动。
测温 KTC 功能电机内置一体式 K 热电偶,动力线缆同步引出测温线,密闭真空腔体无需外置测温探头,可接入温控模块做超温停机保护。
出线配置1.5 米低析出真空柔性线缆,4 芯电机动力线 + KTC 测温双线一体,适配真空法兰密封穿仓。
四、产品核心特点
紧凑型 42 法兰一体化方案电机 + 真空减速机 + 内置测温三合一,NEMA17 小体积,适配狭小真空腔体内部安装,节省腔体空间。
极低放气真空专用工艺全机不锈钢壳体、无有机挥发涂层、真空专用润滑脂,出厂高温烘烤除气,不会污染膜层、样品、光学镜片。
宽温极端工况兼容同时支持高真空、液氮超低温、辐照环境,冷冻电镜、低温探针台、靶材旋转驱动通用。
内置温度闭环防护真空密闭环境无法外部测温,KTC 热电偶实时采集电机内部温升,规避真空内过热烧毁风险。
低背隙精密减速传动真空专用行星减速结构,定位重复精度高,适合样品台微调、阀门角度调节、溅射靶材匀速旋转。
高压绝缘抗干扰绕组70VDC 高压适配,腔体内部无放电风险,抗真空内静电、电磁干扰。
五、典型应用场景
光学镀膜、溅射、蒸镀设备小型靶材旋转、样品位移平台
冷冻电镜、液氮低温探针台精密样品定位机构
质谱仪、真空检漏腔体调节阀、微量样品平移台
半导体小型真空制程、离子注入微位移模组
实验室超高真空科研设备、航天环境模拟舱小型传动机构



