PHYTRON VSS 57.200.1,2-GPL-HV-KTC-4Lp-1.5 真空步进电机完整介绍

一、品牌基础

德国 PHYTRON（飞创），专业极端环境真空 / 低温 / 抗辐射两相混合式步进电机制造商，VSS 系列为工业高真空标准机型，整机德国原厂制造，适配镀膜、半导体、质谱、冷冻腔体、航天模拟工况。

二、完整型号分段释义 VSS 57.200.1,2-GPL-HV-KTC-4Lp-1.5

1. VSS：标准高真空两相步进电机系列

2. 57：法兰尺寸 57mm（NEMA23 规格）

3. 200：标准步距 1.8°，每转 200 整步

4. 1,2：额定相电流 1.2A / 相，4 线并联绕组

5. GPL：集成低背隙精密行星减速头（一体化真空适配减速机）

6. HV：High Vacuum 高真空等级，耐受真空度 10⁻⁹～10⁻¹¹ hPa，出厂 200℃高温烘烤除气，低出气材料

7. KTC：内置 K 型热电偶测温元件，实时监测电机腔体温度，超温报警保护

8. 4Lp：4 引线并行绕组，适配标准两相步进驱动器

9. 1.5：真空专用引出线缆长度 1.5 米，低挥发真空专用镀金屏蔽线

三、核心电气与机械参数

1. 步进本体基础

• 相数：两相混合式

• 步距角：1.8°，步距精度 ±5%

• 额定相电流：1.2A

• 适配驱动电压：70VDC（HV 高压真空机型标准）

• 法兰：57mm 方形标准安装法兰

• 电机材质：无磁不锈钢壳体 / 轴，内置排气孔，避免真空腔体积气残留

2. GPL 减速单元

一体化真空级行星减速机，全真空润滑脂，低背隙，无有机挥发物；传动稳定，适配真空腔内高精度定位。

3. 真空与温度性能

• 极限真空：10⁻¹¹ hPa

• 烘烤耐受：出厂最高 200℃除气烘烤，长期工作腔体温度≤160℃

• 宽温区间：-196℃液氮低温～+85℃长期稳定运行

• 出气率：＜10⁻¹² Pa・m³/s，不污染真空腔体、光学镀膜层

4. KTC 测温功能

内置 K 热电偶，引线随电机出线一体引出，可实时采集电机内部温度，用于真空设备热联锁、过热停机保护。

5. 线缆配置

4Lp=4 芯电机动力线 + KTC 测温双线，总长 1.5m 真空专用柔性电缆，无塑料挥发涂层。

四、产品核心特点

1. 高真空专用全套方案电机 + 真空减速机 + 测温一体集成，无需单独配减速、测温模块，腔体内部直接安装。

2. 极低出气材料工艺整机全部采用航天级低析出金属、真空专用润滑脂，高温烘烤除气，不会污染镀膜、光学、半导体真空腔。

3. 极端环境兼容可同时满足高真空 + 低温 + 轻微辐射工况，抗振动冲击，适配粒子加速器、冷冻电镜、靶材驱动。

4. 温度闭环保护KTC 热电偶实时测温，真空密闭腔体无法外部测温，实现过热安全联锁。

5. 低背隙精密减速GPL 行星减速一体化结构，定位重复精度可达微米级，适合样品台、光学镜片微调、靶材角度调节。

6. 抗辐射标准设计基础抗辐照 10⁶ J/kg，适配高能物理、航天模拟实验室。

五、典型应用场景

1. 光学镀膜、溅射、蒸镀设备真空腔靶材旋转 / 升降驱动

2. 冷冻电镜、低温探针台、液氮冷却样品台精密定位

3. 质谱仪、真空检漏腔体调节阀、位移平台

4. 半导体真空制程、离子注入设备传动机构

5. 航天环境模拟舱、高能物理粒子实验设备

6. 科研实验室超高真空精密微调机构