美国ALICAT 流量控制器 MCW-10SLPM-D
MCW-10SLPM 低压降气体质量流量控制器
自适应气流控制,对系统的影响最小
具有低压降的Alicat“ Whisper”系列质量流量控制器非常适用于在可用系统压力很小的情况下控制质量和体积流量。低压降最大程度地降低了系统影响,可在接近大气压的压力下进行流量控制,并缩短了系统响应时间。我们将使用您的应用程序参数来自定义阀门和PID调节,以确保在保持低压降的同时提供快速稳定的控制。
Alicat的MCW使用小型比例阀以较低的流量进行控制,适用于 非腐蚀性气体。
可用范围:最大0-1000 slpm,最小0-0.5 sccm / 0-500sμlm
最大内部压力(静态):45 psig(60 psia)
耐压力:175 psig(190 psia)
精度:±0.8% of reading and ±0.2% of full scale
高精度(可选):±0.4% of reading and ±0.2% of full scale