美国ALICAT 流量控制器 MCQ-5SLPM-D 高压气体质量流量控制器
MCQ –高压气体质量流量控制器
高压应用中的响应气流控制
MCQ流量控制器可为需要更高管路压力(160-320 psia)的应用提供标准控制器的快速控制响应。这种高压质量流量控制器即使在出现压力峰值时也能迅速达到新的设定值并保持在该位置。我们将使用您的应用程序参数来自定义阀门和PID调整,以确保其提供快速稳定的控制。
Alicat的MCQ系列使用小型比例阀以较低的流量进行控制,适用于 非腐蚀性气体。
可测量程范围0-5000SLPM 0-10SCCM
最大内部压力(静态):305 psig(320 psia)
耐压力:400 psig(415 psia)
兼容气体:98(MC)或130(MCS)预装的可选气体校准