美国ALICAT 流量控制器  MC-50SCCM 质量流量控制器

MCR–气体质量流量控制器

响应气流控制，可抑制压力波动

出色的MFC只需要做好一件事：将流速保持在设定点即可。Alicat的MC系列气体质量流量控制器即使在压力峰值的情况下也能迅速达到新的设定值并保持在该位置。我们将使用您的应用程序参数来自定义阀门和PID调整，以确保其提供快速稳定的控制。

应用于：气体混合 稀释 标准气体发生器流量控制

燃烧控制，火焰温度控制，氮化炉 多用炉内气控制 光伏制造，多晶硅炉气体控制等

Alicat的MCR使用几乎无摩擦的Rolamite阀门和各种孔板样式，以高流量进行控制，适用于  非腐蚀性气体。

可用范围：最大0-5000 slpm，最小0-0.5 sccm / 0-500sμlm

兼容气体：98（MC）或130（MCS）预装的可选气体校准；

最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

耐压力：175 psig（190 psia）