美国ALICAT 质量流量计M-4000SLPM M系列

Alicat M系列质量流量计

快速质量流量控制器和仪表使过程控制和校准过程更加高效。Alicat提供多种方法来定制您的气体流量计或控制器，以用于低压降，高压或腐蚀性应用。标准功能包括实时读数，快速阀门响应和多气体校准。大多数型号可以定制，流速高达5000 slpm或低至2.5sμlm/ 0.0025 sccm。

产品特点：

● 数字化产品

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力

● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板

● 可选高精度：优于0.5%

● 高量程比 200:1

● 响应时间快 仅需100ms

● 内置98种气体

● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气

应用：

● 大学/研究所

● 环境监测

● 真空行业及镀膜

● 工业炉窑

● 半导体

● 汽车制造

● 光伏

● 燃料电池

● 计量

● 过程工艺气体测量

精度：± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度（可选型）：± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)

内部最大工作压力 （可选高压）：145 psig

数字输出信号：RS-232 或 RS-485 PROFIBUS